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水冷式臭氧发生器

描述:水冷式臭氧发生器设计用于生产超洁净,高纯度和高浓度的臭氧气体,非常适合各种半导体工艺应用。

更新时间:2018-09-11
产品型号:
厂商性质:代理商
详情介绍

IN USA系列是Teledyne API的一个品牌,OG-5000系列臭氧发生器设计用于生产超洁净,高纯度和高浓度的臭氧气体,非常适合各种半导体工艺应用。

水冷式臭氧发生器通过在高强度电场中激发分子氧来产生臭氧气体,这是通过在两个电极之间施加交流电压而建立的。为了获得高强度的电场,两个电极表面放置在非常紧密的机械接近位置。当跨越间隙整合的场的强度大于填充间隙的氧的击穿电压时,发生放电并产生臭氧。添加ppm级别的“掺杂”或“掺加”气体(如氮气)可大限度地提高臭氧输出量,并确保随着时间的推移高度稳定地产生臭氧。

OG-5000臭氧发生器系列中的高纯度润湿材料结合了创新的电池设计,独特的密封技术和先进的控制器,确保生产高纯度和高浓度臭氧气体,以满足所有苛刻要求在半导体行业的应用。

 

水冷式臭氧发生器产品特性

◆ 高纯度臭氧
◆ 非常高的臭氧浓度
◆ 比其他工艺气体更环保
◆ 低采购成本
◆ 无耗材
◆ 紧凑和模块化
◆ 经过验证的技术

 

技术规格

◆ 大臭氧产量:OG-5000-A 210g/Hr
OG-5000-B 150g/Hr
◆ 远程控制: 通过前面板或自动远程控制
通过SCI控制器远程关闭或伺服控制
原料气
◆ 氧气等级:6个9或更高,
◆ 氮级:5个9或更高(仅0.5%)
◆ 进料气体流速:0.5-20slpm
运行条件
◆ 臭氧出口压力:15至40 psig(通常设定为30 psig)
◆ 工作环境温度:5-35摄氏度
◆ 冷却水温度:18摄氏度+- 3摄氏度(不要低于当地露点)
◆ 冷却水流量:1 to 1.2 gpm at 60 psig
◆ 冷却水质量:任何晶圆厂级别(去离子水)
◆ 电源(VAC):208/240 VAC单相或三相
◆ 频率:50或60Hz
◆ 电流:15 amps Breaker 10 Amps RMS
物理规格
◆ 尺寸(宽x高x深):19“x 10.5”18“(48厘米x27厘米x45厘米)
◆ 重量:82磅 (27公斤)

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